自行结算心室导管的设计和制造。一)聚酰亚胺旋转外套和养护的单晶硅(Si)和二氧化硅(二氧化硅)释放层晶片。b)的蒸发Cr蚀刻掩模和为致动器轮廓定义光刻胶。c)湿蚀刻的铬(Cr)和聚酰亚胺的干蚀刻。d)切除Cr和蒸发的黄金(Au)作为一个导电层。e)光刻胶的应用和镍(镍)电镀。f)去除光刻胶和剩余的非盟层。g)的光学图像的连续的磁致动器类型(上)和蜿蜒的类型(中)。酒吧= 325μm规模。导管和一个集成的驱动器(底部)。 Scale bar = 1 mm. h A typical motion of actuation in deionized (DI) water for one actuation period. Credit:自然通讯(2022)。DOI: 10.1038 / s41467 - 022 - 28101 - 5